一、 什么是自動探針臺
自動探針臺是一種用于電子與通信技術(shù)、計(jì)算機(jī)科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器。從裝片方式上區(qū)分，分為全自動和半自動兩種。主要用于晶圓測試，晶圓尺寸：4,,6,8 ，12英寸晶圓片裝卸：1個(gè)載片盒 (25 或者 26 個(gè)片槽)，連續(xù)的可編程雙向加載，快速單片晶圓手動上下片，防晶圓交叉保護(hù) XYZ- 精度：±3微米。
二、 設(shè)備外觀
三、 主要功能
1. TTL專用測試儀接口；GPIB/RS232/網(wǎng)絡(luò)接口（選配）；與測試機(jī)連接方便；
2. Windows風(fēng)格界面，動態(tài)顯示測試過程，MAP圖實(shí)時(shí)顯示、存儲；
3. Map導(dǎo)航功能，map編輯（可編輯標(biāo)注DIE屬性、測試區(qū)域）；
4. 自動測試方式有矩陣、圓形方式、Map方式；
5. 圖像對準(zhǔn)功能，自動掃描，自動首點(diǎn)對準(zhǔn)；
6. 不良品噴墨打點(diǎn)標(biāo)記，墨點(diǎn)尺寸Ø0.5mm；
7. 分級權(quán)限管理；
8. 控制打印機(jī)打印測試結(jié)果；
9. 配合上位機(jī)，上傳并記錄測試數(shù)據(jù)。
四、 主要技術(shù)指標(biāo)
性能名稱 技術(shù)指標(biāo)
可測行程范圍 200*200mm
測試點(diǎn)（PAD）要求 不小于0.05mm直徑
工作臺 最大行程 210mm×300mm
定位精度 ≤±0.01mm/100mm
工作臺速度 ≥100mm/s
步進(jìn)分辨率 0.001mm
集成式防震平臺 固有頻率＜1.5~2Hz
測試工具 探針座/探卡可選
承片臺 Z向行程 19mm
Z向定位精度 ≤±0.003mm
Z向分辨率 0.001mm
θ向調(diào)節(jié)范圍 ±10°
θ向分辨率 0.00625°
CCD攝像機(jī) 自動對準(zhǔn)、自動扎片、測試觀察
測試效率（UPH） ≥100
上、下片方式 手動方式
外形尺寸（寬×深×高） 1300mm×840mm×1500mm
五、使用環(huán)境：
1. 電源：AC 220V±22V 50Hz±1Hz，功率：＜1.5KW
2. 壓縮空氣源：> 0.7MPa，10L/H
3. 使用環(huán)境：溫度：15oC-25oC 相對濕度：＜70%
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